受託微細加工

電子ビーム(EB)リソグラフィとドライエッチングを中心に微細パターンの受託加工を行っています

 

EBリソグラフィ:最大 Φ8″

ドライエッチング:最大 300㎜ 口


EBリソグラフィのサービスフロー

 

 デバイスパターンの構想・設計【お客様】

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EB描画データ作成【お客様または弊社】

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テスト描画【弊社】

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EB描画データ調整【弊社】

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本番描画【弊社】

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  納品


その他の微細加工プロセスも協力会社様とのコラボレーションにより可能な範囲で対応させていただきますので、先ずはご相談ください