理化学機器の開発・製作
自社製品
研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series
基本仕様：DC1源スパッタ
| スパッタ方式 | DCマグネトロンスパッタ/デポアップ |
| スパッタ電源 | DC500V/0.8A |
| カソード | Φ2インチ/マグネトロンカソード |
| ターゲット | Au/Ag/Pt/Pd/Ni/Cu/W/Cr/Ti/Ta/Mo/etc. |
| 真空排気系 | ロータリーポンプ 162L/min |
| 真空計 | ピラニゲージ/5.0×10-2Pa～1.0×105Pa |
| 試料サイズ | 最大Φ2インチ/小片試料対応可能 |
| ガス流量調整 | アルゴン用MFC/20sccm |
| ガス導入 | 1/4 インチSwagelok |
| 予備ポート | NW40×2 |
| 外形寸法 | W480×D510×H440mm |
| ※突起部は含まず | |
| 設置タイプ | 卓上型 |
| 使用電源 | AC100V/15A 1系統 |
FDS/FRS Series 拡張オプション
2源仕様マグネトロンカソード追加
| 型式 | OS-2CS |
| 仕様 | 2源スパッタ化 |
高真空仕様（ターボ分子ポンプ追加）
| 型式 | OS-HVS |
| 排気速度 | 35L/s |
| 到達圧力 | ≦5×10-4Pa |
| 真空計 | フルレンジゲージ |
| ガス圧力調整 | バタフライバルブ |
反応性スパッタ仕様（マスフローコントローラー追加）
| 型式 | OS-AGS |
| ガス種 | O2またはN2 |
| 流量 | 5sccm |
RFスパッタ仕様
（RF電源：オートマッチング 追加）
| 型式 | OS-RFS |
| 発振周波数 | 13.56MHz |
開発品
卓上型熱酸化装置
石英管雰囲気炉を用いて実験用熱酸化装置を開発
熱酸化用バブリングユニットのプロトタイプ（FBU-100-/PT）と合わせて性能評価中
石英管雰囲気炉
1ゾーンチューブ炉
| 使用温度範囲 | 常温～1100℃ |
| 最高使用温度 | 1150℃ |
| 常用温度範囲 | 常温～1,000℃ |
| 適用炉心管径 | ～Φ60mm |
| ヒータ内径 | Φ80mm |
| ヒータ割振り | 50＋250＋50mm |
| ヒータ容量 | 1200W |
| 外形寸法 | W350×D260×H260mm |
| ※突起部は含まず | |
| 使用電源 | AC100V/15A |
プログラム式温度コントローラ
| 設定温度範囲 | 0～1200℃ |
| コントローラ | プログラムタイプ |
| プログラム数 | 1パターン9ステップ |
| 制御方式 | PID制御/サイリスタ制御 |
| 温度センサ | K熱電対仕様 |
| 安全機能 | 過熱防止機構/漏電遮断器 |
| 付加機構 | 補助温度表示器（K熱電対仕様） |
| ※炉心管内の温度測定など | |
| 本体寸法 | W360×D324×H124mm |
| 設備電源 | AC100V/15A |
東京都公安委員会 第308872322136号
株式会社FKDファクトリ